手动探针台

手动探针台

1、 单机多应用设计

适用于多种晶圆/集成电路/功率器件/光学材料量测应用，如射频和DC、IV/ CV 测试晶圆级可靠性。

2、 工效学设计

Xy轴微调设计/Y轴快速导入导出/载物台设计。

坚固且可乘载多达10支DC或4支RF微定位器的工作台。

大行程快速导轨驱动搭配千分尺精调移动。

3、 弹性选配与升级性

另有多种晶圆载物台可做升级，亦有诸多配件如DC/RF/mmW微定位 器 、光学显微镜、电磁屏蔽箱/防震系统可搭载，以完全支援您的应用需求。

4 、高压人机安全防护设计（选配）

Platen 底部特征聚合物高压防护设计。

Chuck 独特安全隔离防护设计。

采用德国PEEK双层高压防护环套设计的针杆（标准SHV Coaxia l 接口）通用keithley & keysight高压仪表。

红外感测interlock安全互锁机制。